(MEMS) Mikroskopisch klein gefertigtes elektromechanisches System. Mit M. lassen sich auf kleinstem Raum elektrische und mechanische Vorgänge realisieren, gewissermaßen mit einer Mikro-Maschine. Gefunden auf https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=M&id=16921&page=1
(MEMS) Mikroskopisch klein gefertigtes elektromechanisches System. Mit M. lassen sich auf kleinstem Raum elektrische und mechanische Vorgänge realisieren, gewissermaßen mit einer Mikro-Maschine. Gefunden auf https://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=M&id=16921&page=1